1、应用领域机设备
2-1适用设备：适用于北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、金盛微纳、泰科诺、Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备。
2-2应用领域：生产及科学实验研究方面应用，光学，微纳加工，器件等行业产品，广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等镀膜产品。
2、靶材规格
3-1 材质：氧化镝（Dy2O3 Target）。
3-2 纯度：99.9%，99.99%，99.999%。
3-3 粒度：5微米。
3-4 尺寸：Φ25,30,40,50.5,60,76.2,80,100,101.6mm，T:0.2-10mm等。
3-5 密度：7.81g/cm³
3-6 表面粗糙度：Ra≤0.8um（溅射面），Ra≤6.4um（做金属化）。
3-7 外观：目视检查无破损、划伤、污迹、裂纹等在使用上有害的缺陷。
4、金属化（BSM）
4-1 种类：金属化材料为纯铟或银（镀膜）。
4-2 粘接度：表面均匀，无气孔，粘接牢固。
4-3 检测：用3M胶带测试。
5、包装及运输
5-1 无油、指纹等的污迹。
5-2 包装材料要保证包装内的货品不污染、破损。
5-3 包装材料采用靶材专用真空包装袋，靶材包装盒。
5-4 运输时，靶材放于专用木箱或纸箱里，包装内侧用珍珠棉严格保护起来。
5-5 运输要注意避免破损或污染。
6、标识
6-1 靶材的品名、纯度、规格、批号、制造日期贴在包装袋外侧。
7、出货报告
靶材报告上分别记载有检查结果表
检查项目 | 检查方法 |
7-1外观（制造商名称、编号、名称） | 目视 |
7-2尺寸 | 游标卡尺，千分尺 |
7-3靶材光洁度 | 光洁度对照块 |
7-4金属杂质（Fe，Ni，Ti，Cr，Mg，AI，Cd等） | ICP，GDMS |
7-5气体杂质（O/N/C/S) | 气体分析设备LECO(热燃烧技术） |
7-6组成 | ICP |
7-7弯曲度 | 直线视、间隙测量仪 |
7-8净重 | 电子称 |
7-9毛重 | 电子称 |
8、储存
8-1需储存于手套箱，氮气柜，干燥环境，密封包装，轻拿轻放，防压防撞。
