国初科技提供3M NanoSHIELD聚丙烯中空纤维膜滤芯
3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纤维膜滤芯/胶囊,用于电子工业高精度过滤。可用于光致抗蚀剂或高纯度药品的过滤。对光致抗蚀或高纯度药品有卓越的耐液性。中空纤维膜技术比折叠滤芯的过滤面积大。应用领域:193mm光致抗蚀剂,ARC\BARC\TARC,蚀刻液,酒精类,碱类,显像液,各种溶剂。3MTMNanoSHIELD聚丙烯中空纤维膜滤芯/胶囊参数表滤芯尺寸材质聚丙烯中空纤维膜过滤精度(微米)5nm、0.01μm、0.02μm、0.05μm、0.1μm、0.2μm造型LH